اندازه گیری فشار به روش خازنی شامل تععین میزان تغییر ظرفیت درنتیجه حرکت یک دیافراگم است. سنسور توسط یک اسیلاتور فرکانس بالا به صورت الکتریکی تحریک میشود. زمانیکه دیافراگم باتوجه به تغییر فشار تغییر شکل میدهد اندازه خازن نسبی به وسیله مدار پل اندازه گیری میشود. روش خازنی اساسا برای اندازه گیری فشارهای خلا ابداع شد و مورد استفاده قرار گرفت.
دو نوع طراحی از این سنسور مرسوم است. اولین نوع طراحی دو صفحه ای است که در دو مد موازنه شده و موازنه نشده کار میکند. نوع دوم طراحی تک خازنی است.
مد موازنه شده به این صورت است که خازن مرجع به نحوی قرار میگیرد که رد خروجی، ولتاژ صفرولت ایجاد میشود. در مد موازنه نشده برای تعیین فشار نیاز به اندازه گیری نسبت به ولتاژ خروجی به ولتاژ تحریک میباشد.
این نوع اندازه گیری فشار کاملا دقیق بوده و محدوده کاری وسیعی دارد. علاوه براین اندازه گیری فشار به روش خازنی برای تعیین سطح یک تانک یا مخزن نیز کاملا مرسوم است.
مزایا
*دقت0.01 تا0.2 درصد
*خطی بودن
*پاسخ سریع.
معایب
*حساسیت به دما
*مشکلات خازن هرزگرد
*ارتعاش
*توانایی محدود در مواجه بافشارهای خارج از محدوده کاری
* هزینه بالا
محدودیت های کاربردی:بسیاری از مشکلات ناشی ازمعایبی که در رابطه با روش خازنی ذکر شد در طراحی های جدید کاهش یافته است.به عنوان مثال برای کاربردهایی به دقت بالا نیاز دارند سنسورهای کنترل شده با دما وجود دارند. اگر کشش سنج هارا مرسوم ترین روش اندازه گیری فشار بدانیم سنسورهای خازنی در رتبه بعدی هستند.
از بهترین برند های تولید کننده ترانسمیتر فشار که در ان سنسور فشار خازنی قرار دارد می توان به اندرس هاوزر ،فوجی، ویکا،هانیول ،زیمنس را نام برد.
